硅晶圓膜厚測(cè)量?jī)x SIT-200
產(chǎn)品介紹:SIT-200 硅晶圓檢測(cè)儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器,利用干涉計(jì)量的方法設(shè)計(jì)制造的用于硅晶圓厚度檢測(cè)的干涉儀。與常規(guī)測(cè)厚采用寬帶光源不同,可調(diào)諧激光器具備很高的功率譜密度,從而提高了測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍,因此,SIT-200 支持非拋光的晶圓測(cè)量,例如在濕刻過(guò)程中以及濕刻之后的晶圓。產(chǎn)品特點(diǎn):l 全光學(xué),非接觸式晶圓厚度傳感l(wèi) 高動(dòng)態(tài)范圍,可測(cè)量不規(guī)則表面l 支持
- 產(chǎn)品名稱: 硅晶圓檢測(cè)儀SIT-200
- 合作廠商: Alnair
- 產(chǎn)品型號(hào): SIT-200

