產(chǎn)品介紹：SIT-200 硅晶圓檢測(cè)儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計(jì)量的方法設(shè)計(jì)制造的用于硅晶圓厚度檢測(cè)的干涉儀。與常規(guī)測(cè)厚采用寬帶光源不同，可調(diào)諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測(cè)量，例如在濕刻過(guò)程中以及濕刻之后的晶圓。產(chǎn)品特點(diǎn)：l 全光學(xué)，非接觸式晶圓厚度傳感l(wèi) 高動(dòng)態(tài)范圍，可測(cè)量不規(guī)則表面l 支持
產(chǎn)品介紹：
SIT-200 硅晶圓檢測(cè)儀是Alnair Labs 公司采用高速掃頻激光器，利用干涉計(jì)量的方法設(shè)計(jì)制造的用于硅晶圓厚度檢測(cè)的干涉儀。與常規(guī)測(cè)厚采用寬帶光源不同，可調(diào)諧激光器具備很高的功率譜密度，從而提高了測(cè)量的動(dòng)態(tài)范圍，因此，SIT-200 支持非拋光的晶圓測(cè)量，例如在濕刻過(guò)程中以及濕刻之后的晶圓。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 全光學(xué)，非接觸式晶圓厚度傳感
l 高動(dòng)態(tài)范圍，可測(cè)量不規(guī)則表面
l 支持濕刻制程中實(shí)時(shí)測(cè)量
l 高靈敏度、高準(zhǔn)確度、高速度
l 遠(yuǎn)程控制
產(chǎn)品參數(shù)：
測(cè)樣品 | 硅晶圓 | |
可測(cè)厚度范圍 | 10 - 500 (n=3.5) | m |
精密可調(diào)諧激光 | 1515 - 1585 | nm |
光功率 | 0.6 | mW |
指引光 | 紅色，Class 1M | |
測(cè)量時(shí)間 | 最短 20 | ms |
可重復(fù)性 | <0.1 (3-σ) | m |
監(jiān)控輸出 | 干涉信號(hào)輸出 | |
PC 界面 | Ethernet |
精密掃頻激光光源以高速度調(diào)諧激光波長(zhǎng)。樣品前、后表面反射的激光的干涉信號(hào)經(jīng)過(guò)PD 探測(cè)后，根據(jù)波長(zhǎng)- 干涉信號(hào)強(qiáng)度的關(guān)系即可得到晶圓厚度。
