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產(chǎn)品介紹：波威官方代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調(diào)諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。 基于高速波長掃描的激光器可以實(shí)現(xiàn)每波長更高功率的測量，從而實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍，甚至在未拋光的晶片上也可以進(jìn)行厚度測量，例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調(diào)諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。 波長掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過傳感器之后由PD檢
產(chǎn)品介紹：
波威官方代理Alnair的SIT-200是一款基于SIT-200使用高速掃頻可調(diào)諧激光探測硅片厚度的硅片厚度測試儀。 基于高速波長掃描的激光器可以實(shí)現(xiàn)每波長更高功率的測量，從而實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)范圍，甚至在未拋光的晶片上也可以進(jìn)行厚度測量，例如在濕法蝕刻期間/之后。硅晶片厚度傳感器由精確調(diào)諧的波長掃描激光源，聚焦傳感器和光接收器（PD）構(gòu)成。 波長掃描光聚焦在目標(biāo)上，并且在通過傳感器之后由PD檢測由目標(biāo)表面和背面的反射形成的干涉圖案。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 用于硅晶圓的全光學(xué)，非接觸式厚度傳感器
l 高動(dòng)態(tài)范圍，能夠測量無序表面
l 能夠在濕法蝕刻期間進(jìn)行原位測量
產(chǎn)品應(yīng)用：
l 硅片厚度測量
產(chǎn)品參數(shù)：
主要技術(shù)指標(biāo) | 硅片厚度測試傳感器（SIT-200） | |
SIT-200 | ||
測試功能 | - | 硅片厚度 |
厚度測試范圍 | um | 10~500（n=3.5） |
激光器 | nm | 波長掃描激光器，1515nm-1585nm |
光輸出功率 | mW | 0.6（Class 1） |
引導(dǎo)光源（基準(zhǔn)光源） | - | RED LD，Laser class 1M |
測試時(shí)間 | ms | ≥20 |
重復(fù)率 | um | ＜0.1（3σ） |
監(jiān)控輸出 | - | 干擾信號(hào)（電信號(hào)） |
程控接口 | - | Ethernet（網(wǎng)口） |
電源 | - | AC100-240V（50/60Hz） |
尺寸（WxHxD） | mm | 364x147x391 |
重量 | Kg | 9.0 |
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