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一、主要特性：光束質(zhì)量:M²<1.5脈沖能量達200μJ脈寬可小于10ps峰值功率達20MW重復(fù)頻率可達15MHz平均功率達100W波長1064、532、355、266nm二、產(chǎn)品應(yīng)用：光伏產(chǎn)業(yè)，如:硅晶圓的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導(dǎo)電層和絕緣層的燒蝕印刷工業(yè)，如:印刷輪雕版顯示領(lǐng)域，如:構(gòu)造導(dǎo)電層，橫向連續(xù)硅結(jié)晶電子行業(yè)，如:印刷電路板的鉆孔和切割工
一、主要特性：
光束質(zhì)量: M²<1.5
脈沖能量達200μJ
脈寬可小于10ps
峰值功率達20MW
重復(fù)頻率可達15MHz
平均功率達100W
波長1064、532、355、266nm
二、產(chǎn)品應(yīng)用：
光伏產(chǎn)業(yè)，如:硅晶圓的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導(dǎo)電層和絕緣層的燒蝕
印刷工業(yè)，如:印刷輪雕版
顯示領(lǐng)域，如:構(gòu)造導(dǎo)電層，橫向連續(xù)硅結(jié)晶
電子行業(yè)，如:印刷電路板的鉆孔和切割
工具制造和機械工程，如:三維快速成型
三、參數(shù)規(guī)格：
|
波長[nm] |
1064 |
532 |
355 |
266 |
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高光束質(zhì)量 M2 |
1.1 |
1.1 |
1.5 |
2 |
|
平均功率[W] |
100 |
60 |
30 |
10 |
|
重復(fù)頻率[MHz] |
15 |
15 |
15 |
15 |
|
單脈沖能量[μJ] |
200 |
120 |
70 |
30 |
|
脈寬[ps] |
8 |
8 |
8 |
8 |
|
能量穩(wěn)定性[%]rms |
1 |
2 |
3 |
4 |
|
定時穩(wěn)定性[ns] |
60 |
60 |
60 |
60 |
|
偏振比 |
>100:1 |
>100:1 |
>100:1 |
>100:1 |
|
出口光斑直徑[mm] |
3 |
3 |
3 |
3 |
|
滿量程發(fā)散角[μrad] |
500 |
250 |
226 |
226 |
|
電源 |
90V-264V,50/60Hz 1KW |
|||
|
水冷機 |
230,208,115,100V,50/60Hz 0.8KW |
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|
工作溫度 |
15-30℃ |
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激光頭 |
650mm*268mm*139mm 36kg |
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電源及水冷機組 |
19"*10HU*650mm 62kg |
|||
