詳細(xì)信息

SOLLAS是WOP專門為硅基太陽能電池行業(yè)開發(fā)的激光加工機(jī)床，配置有飛秒紫外激光器和納秒紅外激光器，具有多任務(wù)操作功能，用于工業(yè)和研究，最高產(chǎn)能3MW/a。

光伏電池激光加工優(yōu)勢：

·   晶圓更薄

·   破損率更低

·   精密深度控制

·   飛秒激光冷加工

·   參數(shù)調(diào)整，促進(jìn)生產(chǎn)開發(fā)

·   選擇性刻蝕（根據(jù)不同材料控制能量傳遞）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·   工業(yè)研究生產(chǎn)線產(chǎn)量2.5 MW/a

·   飛秒紫外和納秒紅外激光源

·   機(jī)器視覺系統(tǒng)探測旋轉(zhuǎn)和調(diào)整激光掃描區(qū)域

·   使用高性能掃描振鏡精細(xì)激光束控制

·   5”和6”晶圓加工

·   生產(chǎn)模式下直觀的觸摸屏用戶使用界面（SCA工程設(shè)計(jì)）

·   研究模式下全功能軟件（SCA工程設(shè)計(jì)）

SOLLAS 執(zhí)行4項(xiàng)工藝：

·   選擇性刻蝕SiNx/SiO2

·   后觸點(diǎn)激光燒制

·   邊緣絕緣處理

·   激光標(biāo)刻

·   可行性測試后整合其他加工過程

1.     全能型太陽能電池激光刻槽機(jī)使用飛秒紫外激光光源對(duì)SiNx/SiO2選擇性刻蝕。這種超精確刻蝕SiNx層的工藝對(duì)Si層的影響（直接或熱效應(yīng)）最小，不但延長了載流子壽命而且可以避免微裂紋。

2.     納秒紅外光纖激光器執(zhí)行其他三個(gè)過程，在提高加工速度方面有巨大優(yōu)勢。

3.     自動(dòng)硅片傳送和掃描系統(tǒng)支持5″ 和6″直徑晶體硅硅片。

4.     綜合機(jī)器視覺系統(tǒng)和調(diào)整激光束掃描場的能力保證了高重復(fù)性和可靠性。

5.     系統(tǒng)配置一個(gè)一級(jí)激光安全罩和保證激光無塵工作環(huán)境的綜合除塵系統(tǒng)。

6.     使用擁有生產(chǎn)和研發(fā)模式的靈活的，友好的軟件ALTSE-SCA控制系統(tǒng)。 

應(yīng)用舉例：

晶圓加工

使用UV飛秒激光脈沖刻蝕單晶圓上SiNx